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ÇöÀåÀÌ¿ë °¡´ÉÇÑ °í¼º´É ¼ÒÇüÈ­ÀåÄ¡·Î °³¹ßÇØ ³ª°¡¾ß

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³ó»ê¹°ÀÇ Ç°Áú¿¡ µû¸¥ ¼±º°Àº ¸ÁÀÇ ±¸¸Û Å©±â³ª ½ºÇÁ¸µ Àú¿ï µîÀ» ÀÌ¿ëÇØ Å©±â³ª ¹«°Ô¿¡ µû¶ó ¼±º°ÇÏ´Â ±â°è½Ä ¼±º°±â¼úÀÌ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÅ¿Ô´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â »ö±ò, ¸À, °áÇÔ µî Ç°Áú Ư¼ºÀÌ º¯È­ÇÔ¿¡ µû¶ó, ¿µ»ó¼¾¼­³ª ±ÙÀû¿Ü¼± ¼¾¼­ µîÀ» ÀÌ¿ëÇØ ³ó»ê¹°ÀÇ ¿ÜºÎÇ°Áú»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ³»ºÎÇ°Áú±îÁöµµ ºñÆı«ÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇØ ¼±º°ÇÏ´Â ±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

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³óÃà»ê¹° Ç°ÁúÀ» ºñÆı«ÀûÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ±â°è½Ã°¢±â¼ú°ú ±ÙÀû¿Ü¼± ºÐ±¤ºÐ¼®¹ýÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌµé ±â¼úÀº °¢°¢ ³óÃà»ê¹°ÀÇ ¿µ»óƯ¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇØ Çü»óÀ̳ª »ö, ¿ÜºÎ ÈìÁýÀ» ÃøÁ¤Çϰųª, ºÐÀÚÀÇ Áøµ¿Æ¯¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇØ ´çµµ¿Í °°Àº ³»ºÎ¼ººÐ ¶Ç´Â °áÇÔÀ» ÃøÁ¤ÇÑ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡ °³¹ßµÈ Ãʺб¤ ¿µ»ó±â¼úÀº ºÐ±¤ºÐ¼®±â¼ú°ú ±â°è½Ã°¢±â¼úÀÇ ÀåÁ¡À» À¶ÇÕÇÑ °ÍÀ¸·Î ´ë»ó½Ã·áÀÇ Àüü¸éÀû¿¡ ´ëÇÑ À§Ä¡º° ºÐ±¤ºÐ¼®»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ´ë»ó½Ã·á¿¡ ´ëÇÑ ÆÄÀ庰 ¿µ»óÁ¤º¸ ¶ÇÇÑ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Ç°Áú¾ÈÀü¼º°èÃø¿¬±¸½Ç¿¡¼­´Â 1980³â´ë¿¡ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¹Ý»ç½Ä ºñÆı« °úÀÏ´çµµ¼±º°±â¸¦ °³¹ßÇß´Ù. °úÀÏ ºñÆı« ¼±º°½Ã½ºÅÛÀº ÇöÀç Àü±¹ »êÁöÀ¯Åë¼¾ÅÍ¿¡ 300¿©´ë ÀÌ»ó º¸±ÞµÅ ¹è, »ç°ú, º¹¼þ¾Æ, °¨±Ö µîÀÇ ´çµµ³ª »êµµÀÇ Ç°ÁúÆÇÁ¤¿¡ È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ °íÃå°¡·çÀÇ ºû Èí¼öƯ¼ºÀ» ÀÌ¿ëÇØ Ä¸»çÀ̽ŠÇÔ·®À» ¿¹ÃøÇÏ°í ÇÔ·®¿¡ µû¶ó ¼øÇÑ ¸À¿¡¼­ºÎÅÍ ¾ÆÁÖ ¸Å¿î ¸À±îÁö ¸Å¿î¸ÀÀ» µî±ÞÈ­ ÇÏ´Â °íÃå°¡·ç ¸Å¿î¸À ÃøÁ¤±â¸¦ °³¹ßÇß´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â Ãʺб¤ ¿µ»ó±â¼úÀÇ ÀåÁ¡À» ÀÌ¿ëÇØ ¼öÀÔ»ê ½ÒÀÌ È¥ÇÕµÈ ºÎÀ§¸¦ ¿¹ÃøÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿ø»êÁö ÆǺ°±â¼úµµ °³¹ßÇß´Ù.

¡Þ ¾ÈÀü¼º ½Å¼ÓÁø´Ü±â¼ú

³ó½ÄÇ° ¾ÈÀü¼ºÇâ»óÀ» À§ÇÑ À§Çع°Áú °Ë»çºÐ¾ß¿¡¼­´Â ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­¿Í °°Àº ÷´Ü±â¼úÀ» À¶ÇÕÇÑ ½Å¼ÓÁø´Ü±â¼úÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ³ó½ÄÇ° À§Çع°Áú °Ë»ç´Â ½Å¼Ó¼º°ú Á¤È®¼ºÀÌ ¹«¾ùº¸´Ù Áß¿äÇÏ´Ù. À̸¦ À§ÇØ ÃÖ±Ù¿¡´Â Ç÷´ç¼¾¼­, ÀÓ½ÅÁø´Ü Å°Æ®¿Í °°ÀÌ ÀÇ·áºÐ¾ß¿¡¼­ È°¹ßÇÏ°Ô ¿¬±¸µÇ´ø ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­´Â »ýü¹°Áú·Î ÀÌ·ç¾îÁø °¨ÁöºÎ¿Í ¹°¸®ÀûÀÎ ½ÅÈ£º¯È¯ºÎ·Î ÀÌ·ç¾îÁø ÀåÄ¡¸¦ ¸»Çϸç, ƯÁ¤ À¯Çع°ÁúÀ» Àß ±¸ºÐÇϸç, ¹ÝÀÀ½Ã°£ÀÌ ºü¸£°í, °¨µµ°¡ ³ôÀº ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.

Ç°Áú¾ÈÀü¼º°èÃø¿¬±¸½Ç¿¡¼­´Â MEMS °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ¼ÒÇü ÀÓÇÇ´ø½º Àü±Ø°ú »ì¸ð³Ú¶ó±Õ¿¡ ƯÀÌÀûÀ¸·Î ¹ÝÀÀÇÏ´Â Ç×ü¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ÀÓÇÇ´ø½º ¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­ °³¹ßÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î, ¼ö ÀÏ ÀÌ»ó °É¸®´ø ½ÄÁßµ¶±ÕÀÇ °Ë»ç½Ã°£À» ¼ö ½Ã°£À¸·Î ÁÙÀÌ´Â ³ª³ë Çü±¤ÀÔÀÚ ±â¹ÝÀÇ ³ª³ë¹ÙÀÌ¿À¼¾¼­ ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â °£ÆíÇÑ Á¾À̱â¹Ý ¼¾¼­·Î ³ó½ÄÇ°ÀÇ ½ÄÁßµ¶±Õ ¶Ç´Â ½ÄÇ°µ¶¼Ò ¿À¿°¿©ºÎ¸¦ ½Ê ¿©ºÐ ³»¿¡ °Ë»çÇÏ°í ±× °á°ú¸¦ ½º¸¶Æ®ÆùÀ» ÀÌ¿ëÇØ È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Å¼ÓÁø´Ü±â¼úÀ»  ¿¬±¸ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ¿ì¸® ±¹¹ÎÀÇ Â¥°Ô ¸Ô´Â ½Ä½À°üÀ» °³¼±ÇØ °úµµÇÑ ³ªÆ®·ý ¼·Ã븦 ÁÙÀÌ´Â µ¥ À¯¿ëÇÑ Â§¸À¼¾¼­¸¦ °³¹ßÇØ 3¸¸¿© ´ë ÀÌ»ó º¸±ÞÇϱ⵵ Çß´Ù.

¡Þ Ç°Áú¾ÈÀü¼º°èÃø±â¼úÀÇ ¼ÒÇüÈ­

¼ÒµæÇâ»ó, »ýÈ°¾ç½ÄÀÇ º¯È­, ¼öÃâÀÔ ³ó½ÄÇ°ÀÇ ±³¿ª±Ô¸ð°¡ È®´ëµÇ¸é¼­ ¼ÒºñÀÚÀÇ ³ó½ÄÇ° Ç°Áú ¹× ¾ÈÀü¼º¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀº ´õ¿í ³ô¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ³ó½ÄÇ°ÀÇ Ç°Áú¾ÈÀü¼º°èÃø ±â¼úÀº ÀÌ·¯ÇÑ ¼ÒºñÀÚÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºÎÀÀÇϸ鼭 ³ó½ÄÇ°ÀÇ °íºÎ°¡°¡Ä¡È­¸¦ ÅëÇÑ ³ó¹Î ¼ÒµæÁõ´ë¿¡ ±â¿©ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çٽɱâ¼úÀ̶ó ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. 4Â÷»ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¸¦ ¸Â¾Æ Ç°Áú¾ÈÀü¼º°èÃø ±â¼úÀº ´Ù¾çÇÑ Ãֽűâ¼úÀÇ À¶ÇÕÀ» ÅëÇØ °í¼º´ÉÀ̸ç ÇöÀåÀÌ¿ëÀÌ °¡´ÉÇÑ ¼ÒÇüÈ­ÀåÄ¡·Î ¹ßÀüÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.

 

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